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矩形音圈电机在主动隔振系统中的应用 因为定向与制导、精密加工与测量、精密仪器仪表等技术的发展,对环境的振动和冲击提出了越来越严格的要求。特别是微电子机械( MS)技术和纳米技术的飞速发展,对物体的操作尺度已进入亚微米及纳米级别,这样对环境和操作平台的振动控制也就要求达到纳米级。 目前国内外一般较为成熟的隔振技术为被动隔振技术。它通过使用参数固定的弹簧和阻尼器等元件来完成对被控对象的减振,具有结构简单,工作,不依赖电源,不消耗附加能量等特点,在车辆减振、车间振动隔离等一般工业场合有比较理想的应用效果。但它对于隔离低频和超低频振动效果不理想;另外由于其特征值为定值,响应时间比较长,又缺乏灵活的控制算法,所以被动隔振技术已经越来越不适应高精度、快响应的振动控制要求。 因此,主动隔振技术由于采取矩形音圈电机对振动系统实行闭环校正,在复合激励环境下具有较强的抗干扰能力,因而具有理想的隔振效果,已广泛应用于精密制造、测试与装配的高精度的隔振平台中。而音圈电机恰恰是满足主动隔振系统的隔振要求。所有音圈电机在精密的主动隔振应用非常广泛。