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特别适用于扫描电镜成像中非导电样品量镀膜。
样品室： 直径120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75¨)
靶材： Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;直径57mm x 0.1mm厚
样品台： 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制：微处理器控制，安全互锁，可调，较大电流40mA，程序化数字控制
溅射头： 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量：真空： Atm - 0.001mbar
厚度监控：使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，
或使MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程(选件)
控制方法：自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的
数字定时器（0－300s），自动放气
桌上系统：真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
技术参数
样品室大小 直径120mm x 120mm 高 (4.75 x 4.75¨)
靶材 Au 靶为标配， Au:Pd, Pt, Pt:Pd （选件）;直径57mm x 0.1mm厚
样品台 可以装载12个SEM样品座，高度可调范围为50mm
溅射控制 微处理器控制，安全互锁，可调，较大电流40mA，程序化数字控制
溅射头 低电压平面磁控管，靶材更换快速，环绕暗区护罩
模拟计量 真空： Atm - 0.001mbar
厚度监控
(选件) 使用MTM-20高分辨厚度控制仪（选件）自动终止溅射过程，
或使MTM-10高分辨厚度监控仪（选件）手动终止溅射过程
控制方法 自动气体换气和泄气功能，自动处理排序，带有“暂停”控制的数字定时器（0－300s），自动放气
桌上系统 真空泵可置于抗震台上，全金属集成耦合系统
